邹世昌（1931.07—），材料科学家，中国科学院院士（学部委员）、全国优秀共产党员获得者，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师、原所长，曾任西德慕尼黑弗朗霍夫学会固体技术研究所客座教授。1949-1950年就读于中国纺织工学院后转入唐山交通大学(现西南交通大学)。1952年毕业后进入中国科学院上海冶金陶瓷研究所工作，担任研究实习员。1954年赴苏留学，前往莫斯科有色金属学院学习（至1958年），1958年在前苏联莫斯科有色金属学院获副博士学位，之后回国进入中国科学院上海冶金研究所（2001年更改为中国科学院上海微系统与信息技术研究所）工作。1991年当选为中国科学院学部委员(院士)。2021年被评为全国优秀共产党员。

上世纪六十年代负责国防重点任务甲种分离膜加工成形部分工作，攻克了“甲种分离膜”元件制造工艺，是“两弹一星”的研制专家之一。上世纪七十年代以后，研究方向转向国际科技前沿的离子束技术，在离子束与固体相互作用以及离子束材料改性、合成、加工和分析等方面进行了系统的研究工作。独创用二氧化碳激光背面辐照获得了离子注入损伤的增强退火效应。用全离子注入技术研制成中国第一块120门砷化镓门阵列电路，用反应离子束加工成中国第一批闪光全息光栅。研究SOI材料并制成CMOS／SOI电路。发展了离子束增强沉积技术并合成了氮化硅、氮化钛薄膜。他是我国离子束研究的开拓者之一，是我国集成电路产业的重要先驱者、上海集成电路领域的奠基人。

1975年，邹世昌访问德国卡尔斯鲁厄并作学术报告

邹世昌在12英寸集成电路生产线项目启动仪式上

爱国故事：

“我一辈子主要做了两件事，一是攻克了‘甲种分离膜’制造工艺，为原子弹装上‘心脏’，二是研制‘中国芯’。第二件事情还没有做完，我要一直做下去。”

——邹世昌

甲种分离膜的制造技术获国家发明一等奖，邹世昌是第二发明人

邹世昌获全国优秀共产党员称号

“两弹一星”与集成电路研制在我国的重大科技项目中有着举足轻重的地位。邹世昌是极少数同时参与了这两个重大国家项目的科技人员之一，他怀揣科技报国、服务人民的梦想与热情，锐意进取、奋力拼搏，成为了让“中国芯”跳动的开拓者、上海集成电路领域的奠基人。制造核武器，分离铀同位素是一项十分关键但又十分困难的技术。中苏关系恶化，苏联撤走专家，也不再提供分离膜等关键元件。苏联专家离开时曾放话，中国绝对做不出这种分离膜，没有了分离元件，制造原子弹只能是一个美好梦想。1960年8月，二机部副部长、原子能所所长钱三强亲自向邹世昌等人下达了原子弹研制任务中“甲种分离膜”的任务。邹世昌负责领导分离元件制造工艺的研究。1963年，他制成了合乎要求的分离膜元件，并将一种高强度、高电导、热稳定的铜合金新材料，加工成焊接成型，效果很好。1965年，分离膜制造技术通过了国家鉴定，并于同年建厂批量生产。中国成为世界上第五个独立掌握浓缩铀生产技术的国家。1964年初，实验室试制工作基本结束，随即转入试生产。“甲种分离膜的制造技术”的研制成功相当于给原子弹装上了“心脏”。20多年的实际投产和使用结果表明，分离膜的使用效果比预期的还要好。这项技术在1984年被授予国家发明奖一等奖，邹世昌排名第二。

20世纪70年代，邹世昌开始转向国际科技前沿的离子束技术研究。离子注入机是芯片制造中至关重要的核心关键装备，没有离子注入就没有集成电路芯片制造。当时能用的设备是国内制造的第一台20万电子伏特能量离子注人机，性能很不稳定。邹世昌参加了CMOS集成电路（电子手表分频器）阈值电压控制的后期部分工作，这是我国首次将离子注入应用于半导体集成电路。1975年9月，

邹世昌在西德卡尔斯鲁厄“离子束表面分析”国际学术会议上发表了这篇论文，引起国际同行好评。令他们十分惊讶的是国际上一般都要用百万以上电子伏特能量加速器及精密仪器进行的实验，中国竞在自制的设备上完成了。这正是邹世昌带领的团队与上海原子核研究所合作，建立了背散射能谱测量及沟道效应分析系统，对提升我国在离子束领域的学术地位发挥了重要作用，为我国集成电路核心技术的发展奠定了坚实基础，让“中国芯”开始跳动。

1997年，上海市和原电子工业部正着手在浦东建设我国第一条8英寸集成电路生产线，邹世昌接受市政府的委托，参加了国家909工程中日合资上海华虹NEC电子有限公司的筹建工作。年近古稀的邹世昌参与了华虹NEC从谈判到签约、从打桩到建厂房的全过程。1999年2月，公司比计划提前七个月投片生产，标志着我国从此有了自己的深亚微米超大规模集成电路生产线，制造技术跨入世界主流水平。华虹NEC的成功引发了上海集成电路产业的集群效应，使上海在短短几年内形成了一条由电路设计、晶圆制造、封装测试、设备材料、智能卡等不同领域300余家企业构建的集成电路产业链，产能约占全国的三分之一。2009年，上海加快了12英寸集成电路生产线的建设，邹世昌又“转场”成为华力微电子公司董事会的董事，一直做到88岁。

邹世昌是一个视事业为第一生命的人。他爱祖国、爱人民，爱干了大半辈子的科学研究事业。邹世昌在一则自述中深情地写上了这么一段：“我出生于这块饱经踩蹦侵略、贫穷落后的土地上，我的命运就和祖国的前途紧紧相连，我的历史责任是要竭尽全力去改变她的面貌，建设一个繁荣昌盛、科技发达的新中国”，这是邹世昌在科学事业上拼搏奋进50载的心路历程和真实写照。

参考文献:

[1] 中国科学技术协会编.中国科学技术专家传略：理学篇（物理学卷3）[M]，北京：中国科学技术出版社,2006：324-331.